催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理VOC 的, 它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰, 操作溫度較熱氧化低一半, 通常為250 ～500 。由于溫度降低, 允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料, 大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似, 系統仍可分為間壁式和蓄熱式兩類熱量回收方式。
間壁式催化燃燒是在催化床后設一個換熱器,該換熱器在降低排放氣溫度的同時, 也預熱含VOC 的有機廢氣, 其熱回收達60%～75%。該類氧化器早已用于工業過程。
再生催化燃燒( rco )是，新的催化技術。它具有RTO回收能量的特點，具有低溫操作和催化反應能量效率高的優點。催化劑放置在蓄熱材料的頂部以優化凈化。其熱回收率高達95.8 co系統性能的關鍵是使用浸漬在鞍形或蜂窩陶瓷，上的特殊催化劑，貴金屬或過渡金屬催化劑，使氧化在RTO系統溫度，的一半下發生，這不僅降低了燃料消耗，而且降低了設備成本。